为使色谱分离柱沟槽深度增加，采用硅湿法腐蚀的工艺手段，先将硅基底一面键合上Pyrex玻璃层，然后将硅基底在厚度上腐蚀穿，达到分离柱沟槽深度的极大值，然后再在硅基底背面同样键合Pyrex玻璃层进行密封。该分离柱内表面经过键合相化学处理，虽然应用在液相色谱中，但其玻璃层－硅基底－玻璃层的三明治结构为制作高深宽比的分离柱提供了一种廉价、简易的方案。蛇型结构蛇型色谱分离柱结构由一段较长的直线段部分和一段180°的转角部分交替重复组成。

　　比较了蛇型结构、圆形螺旋型结构和正方螺旋型结构三种色谱分离柱在相同条件下的分离性能，得出的结论是：不论是在恒温分离过程中还是程序温度控制分离过程中，蛇型分离柱具有更小的色谱分离峰线宽、更尖锐的谱峰、更高的理论热塔板数、分辨率高。因此，蛇型结构成为今后制作MEMS微型色谱柱的首要选择。通过硅硅键合制作色谱分离柱的思路，制作了圆形截面的蛇型结构分离柱，其同样在两片相同的硅基底上通过各向同性湿法腐蚀工艺制作半圆形截面的蛇型沟槽，然后在200℃的条件下，经过对准标记对准，以二－苯并环丁烯作为中间层进行硅片的粘结键合密封形成分离柱。该分离柱结合后端探测器，应用在危险化学品（TNT，GB，VX）的微量分析领域。