系列简介及说明
在诸多高纯净气体的应用场合,如半导体行业,为了满足工业过程的要求,气体中残留的微量水分是极为关键的参数.实践操作中测量水分含量是非常困难的,因为期间需要使用复杂的湿度分析仪或昂贵分析技术.现在,密析尔给市场带来了简便,经济而且高效率的露点在线测量的解决方案,*低露点温度可测达-120℃(相当于<1ppb).Pura 变送器汇集了密析尔生产和校验阻抗露点变送器方面的经验和专业知识,并结合了工业标准选材和制造工艺,使之成为**款适用于大规模集成半导体制造工厂及高纯净气体行业中的**位变送器
系列用途
在线检测半导体工业高纯气的湿度
产品特点
安装简便
高度的稳定性和重复性
测量范围达-120℃露点(<1ppbV)
100级洁净室净化包装
技术参数
测量范围: -120…40℃露点
精 度: ±1℃露点
工作压力: 30Mpa
工作温度: -20…+50℃
气室材料: 冷拉不锈钢,内部0.1…0.2微米电抛光
防护等级: IP65
气路接口: 1/4 ’’VCR
流量等级: 建议位1…5NL/Min
工作电源: 12…28VDC
输出信号: 4…20 mA (RS485可选)
溯源性: NPL(英国)和NIST(美国)
质量保证期: 12个月