抛光硅片后清洗设备

品牌：《南北电子》主要功能部件有：箱体部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超声/兆声槽、石英管滚动系统、喷淋系统、机械手部分、贮藏柜、排风装置、给（排）水管路、抽风系统和电气控制系统等。采用全自动控制式,通过触摸屏设定参数来选择清洗工艺,操作便捷